发明名称 A method of operating an ion source with reduced neutral noise
摘要
申请公布号 GB2256523(B) 申请公布日期 1995.04.19
申请号 GB19920010609 申请日期 1992.05.18
申请人 * FINNIGAN CORPORATION 发明人 IAIN CHARLES * MYLCHREEST;MARK EDWARD * HAIL
分类号 B05B5/057;G01N27/62;G01N30/62;G01N30/72;H01J49/10;(IPC1-7):H01J49/10;H01J49/04;H01J49/06 主分类号 B05B5/057
代理机构 代理人
主权项
地址