发明名称 |
A method of operating an ion source with reduced neutral noise |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2256523(B) |
申请公布日期 |
1995.04.19 |
申请号 |
GB19920010609 |
申请日期 |
1992.05.18 |
申请人 |
* FINNIGAN CORPORATION |
发明人 |
IAIN CHARLES * MYLCHREEST;MARK EDWARD * HAIL |
分类号 |
B05B5/057;G01N27/62;G01N30/62;G01N30/72;H01J49/10;(IPC1-7):H01J49/10;H01J49/04;H01J49/06 |
主分类号 |
B05B5/057 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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