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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitrid
摘要
申请公布号 DE1646666(A1) 申请公布日期 1971.09.02
申请号 DE19671646666 申请日期 1967.11.27
申请人 JOSEPH LUCAS (INDUSTRIES) LTD. 发明人 FRANK COE,ROGER
分类号 C01B21/068;C04B35/593 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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