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经营范围
发明名称
Deep-UV lithography.
摘要
申请公布号
EP0293823(B1)
申请公布日期
1995.04.19
申请号
EP19880108673
申请日期
1985.06.12
申请人
AT&T CORP.
发明人
BRUNING, JOHN HENRY
分类号
G03F7/20;G03F7/207;(IPC1-7):G03F7/20;G03B41/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
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