发明名称 MAGNETRON SPUTTERING CATHODE
摘要
申请公布号 JPH07102369(A) 申请公布日期 1995.04.18
申请号 JP19930247240 申请日期 1993.10.04
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJITA MITSURU;TAKAHASHI NOBUYUKI
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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