发明名称 PRODUCTION OF MULTIPLE OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07102363(A) 申请公布日期 1995.04.18
申请号 JP19920027332 申请日期 1992.01.17
申请人 TOYOBO CO LTD 发明人 MATSUDA NAGANARI;IZEKI SEIJI;MORIHARA YOSHIHARU;UNO TOSHIO;KOTANI TORU;YAMADA YOZO
分类号 B32B9/00;C08J7/06;C23C14/08;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 B32B9/00
代理机构 代理人
主权项
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