| 发明名称 |
Miniature air bearings |
| 摘要 |
A miniature air bearing for supporting and guiding parts has a bearing surface of monocrystalline silicon. Nozzles are formed on the bearing surface by means of anisotropic etching for feeding air.
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| 申请公布号 |
US5407280(A) |
申请公布日期 |
1995.04.18 |
| 申请号 |
US19930084940 |
申请日期 |
1993.06.30 |
| 申请人 |
HEINZL, JOACHIM |
发明人 |
HEINZL, JOACHIM;RUNGE, WOLFRAM |
| 分类号 |
F16C32/06;(IPC1-7):F16C32/06 |
主分类号 |
F16C32/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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