发明名称 APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPH07103729(A) 申请公布日期 1995.04.18
申请号 JP19910344525 申请日期 1991.12.26
申请人 HITACHI LTD;AKITA DENSHI KK 发明人 TAKAHASHI SATORU
分类号 G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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