发明名称 METHOD FOR WELDING QUARTZ TUBE FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07101741(A) 申请公布日期 1995.04.18
申请号 JP19930249624 申请日期 1993.10.06
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 ABE TOSHIYUKI;KUWABARA TAKAHIDE
分类号 C03B20/00;C03B23/207;C30B11/00;(IPC1-7):C03B23/207 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
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