| 发明名称 |
VACUUM TREATMENT OF MATERIAL AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07102372(A) |
申请公布日期 |
1995.04.18 |
| 申请号 |
JP19930247063 |
申请日期 |
1993.10.01 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MATSUDA KOJI;SASAMURA YOSHITAKA |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/50;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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