| 发明名称 |
SUBSTRATE COATED WITH BORON NITRIDE-CONTAINING FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07102360(A) |
申请公布日期 |
1995.04.18 |
| 申请号 |
JP19930249407 |
申请日期 |
1993.10.05 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NISHIYAMA SATORU;EBE AKINORI;OGATA KIYOSHI |
| 分类号 |
C01B21/064;C23C14/06;C23C14/22;C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C01B21/064 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
