发明名称 VERFAHREN UND EFFUSIONSZELLE ZUR ERZEUGUNG VON MOLEKULARSTRAHLEN.
摘要
申请公布号 AT119953(T) 申请公布日期 1995.04.15
申请号 AT19920402130T 申请日期 1992.07.23
申请人 ALCATEL ALSTHOM COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE 发明人 GOLDSTEIN, LEON;VERGNAUD, RENE;CHARDON, JEAN-PIERRE
分类号 C30B23/06;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/06 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
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