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发明名称 Differential-Interferometer mit flachem Spiegel.
摘要
申请公布号 DE3650262(D1) 申请公布日期 1995.04.13
申请号 DE19863650262 申请日期 1986.12.19
申请人 ZYGO CORP., MIDDLEFIELD, CONN., US 发明人 SOMMARGREN, GARY E., MADISON CONNECTICUT 06443, US
分类号 G02B27/28;G01B9/02;G01D5/26;G01J9/02;(IPC1-7):G01J9/02 主分类号 G02B27/28
代理机构 代理人
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