| 发明名称 |
Semiconductor type differential pressure measurement apparatus and method for manufacturing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU658524(B1) |
申请公布日期 |
1995.04.13 |
| 申请号 |
AU19930044735 |
申请日期 |
1993.08.17 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORPORATION |
发明人 |
KYOICHI IKEDA;TETSUYA WATANABE;HIDEO TSUKAMOTO;TAKAHIRO KUDO;KOUJI NAGAI;SATOSHI FUKUHARA |
| 分类号 |
G01L9/00;G01L19/06;(IPC1-7):G01L13/06;H01L21/334 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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