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发明名称 Bornitridmembran in einer Halbleiterplättchenstruktur.
摘要
申请公布号 DE69014759(T2) 申请公布日期 1995.04.13
申请号 DE1990614759T 申请日期 1990.07.09
申请人 REDWOOD MICROSYSTEMS, INC., MENLO PARK, CALIF., US 发明人 AMERICA, WILLIAM G., BETHEL, CT 06801, US;POOLE, RICHARD R., NORWALK, CT 06850, US
分类号 C23C16/34;F16K7/17;G01N25/18;G01N27/18;G01N30/60;G03F1/22;(IPC1-7):C23C16/34;G03F1/14 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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