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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Sputterauftragen von Filmen.
摘要
申请公布号 DE69017555(D1) 申请公布日期 1995.04.13
申请号 DE19906017555 申请日期 1990.08.13
申请人 HAUZER HOLDING B.V., VENLO, NL 发明人 KADLEC, STANISLAV, CS-PRAHA 5, CS;MUSIL, JINDRICH, CS-REVNICE, CS
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/35;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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