共轭等光程纵向扫描器

摘要

本发明的光学扫描器是一种共轭等光程纵向扫描器，它主要特征是两分光镜之间置有可以沿光轴方向往复运动，实现焦点在轴向扫描的过程。两反射镜M、N之间有一确定的焦点，达到被测样品固定不动的目的。具有输出光和输入光之间的光程差在扫描过程中保持恒定的特点，所以它有使用方便、测量精度高的优点。

主权项

1、一种共轭等光程纵向扫描器，含有作为光源的激光器、分光镜、反射镜、透镜、探测器和显示装置，其特征在于从激光器入射的光束经分光镜G(1)后，透射光经透镜A(5)，被沿着光轴方向来回移动的两平行反射面镀有对激光束全反射膜的平行平面镜(9)的前表面全部反射后由原光路返回，再经分光镜G(1)反射到透镜C(7)上，从透镜C(7)透射的光束被反射镜M(3)反射后会聚一焦点(10)上，发散后被反射镜N(4)反射，通过透镜D(8)后透射到分光镜H(2)上，被分光镜H(2)反射后通过透镜B(6)入射到平行平面镜(9)的后表面上，其后表面将光束全部反射返回到分光镜H(2)上，从分光镜H(2)透射的光束射进带有显示装置的光电探测器上，则入射光束和出射光束之间的光程差应满足公式：△=2△D₁₉+2△D₂₉+常数式中，△D₁₉-为分光镜G(1)和平行平面镜(9)之间的距离对应的光程，△D₂₉--为分光镜H(2)和平行平面镜(9)之间的距离对应的光程。