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发明名称 Particle beam source
摘要
申请公布号 GB2282698(A) 申请公布日期 1995.04.12
申请号 GB19940020193 申请日期 1994.10.06
申请人 * CARL-ZEISS STIFTUNG 发明人 HERMANN R * DOBLER
分类号 H01J27/08;H05H3/02;(IPC1-7):H01J37/08;H05H3/00 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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