| 发明名称 |
A PLASMA CLEANING METHOD FOR REMOVING RESIDUES IN A PLASMA TREATMENT CHAMBER. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0647163(A1) |
申请公布日期 |
1995.04.12 |
| 申请号 |
EP19930915378 |
申请日期 |
1993.06.16 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
CHEN, CHING-HWA;ARNETT, DAVID;LIU, DAVID |
| 分类号 |
B08B7/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B08B3/10;B44C1/22 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
