发明名称 Method of producing CVD silicon oxynitride film.
摘要
申请公布号 EP0481706(B1) 申请公布日期 1995.04.12
申请号 EP19910309441 申请日期 1991.10.15
申请人 KAWASAKI STEEL CORPORATION 发明人 SATO, NOBUYOSHI, C/O KAWASAKI STEEL CORPORATION
分类号 H01L21/318;C23C16/30;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
地址