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发明名称 METHOD OF AN APPARATUS FOR INTERFEROMETRICALLY INSPECTING A SURFACE OF AN OBJECT.
摘要
申请公布号 EP0647310(A1) 申请公布日期 1995.04.12
申请号 EP19930913400 申请日期 1993.06.18
申请人 BRITISH TECHNOLOGY GROUP LIMITED 发明人 MONTGOMERY, PAUL, CHRISTOPHER;FILLARD, JEAN-PIERRE
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;G01J3/453;G01J9/02;G01N21/00;G01N21/45;G01N21/55;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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