热式光检测器及其制造方法

摘要

本发明的热式光检测器包括热式光检测元件与支持该光检测元件的支持台，该支持台由传热困难的材料制作，并置于可调温在一定温度内的基台上处于热连接状态。支持台还确定其高度以及横截面形状各部分尺寸，使得从热式光检测元件至基台的热传导路径的热传导量同预先设定的量一致。本发明的上述构造的热式光检测器的制造方法，是将形成有信号取出电极的热电结晶板粘接在一定厚度的在相应位置掩模曝光的感光性玻璃板上，研磨结晶板使其变薄，采用蚀刻除掉感光部分。

主权项

1、一种热式光检测器其特征在于，包括热式光检测元件、与支持该光检测元件的支持台，该支持台是以热传导比较差的材料以及形状被制作的，并被搭载于调温在一定温度内的基台上处于热连接的状态，所述支持台由感光玻璃制作，确定其高度以及横截面形状的各部分尺寸应使从所述热式光检测元件至所述基台的热传导路径的热传导量同预先设定的量相一致。