| 发明名称 |
Process for the production of dielectric thin films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2250751(B) |
申请公布日期 |
1995.04.12 |
| 申请号 |
GB19910018246 |
申请日期 |
1991.08.23 |
| 申请人 |
* KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HITOSHI * TABATA;OSAMU * MURATA;JUNZO * FUJIOKA;SHUNICHI * MINAKATA;SHICHIO * KAWAI;TOMOJI * KAWAI |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/22;C23C14/28;G01J5/34;H01L37/02;(IPC1-7):C23C14/34;C23C16/48;H01L21/473 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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