发明名称 MAGNETRON SPRAYING DEVICE
摘要
申请公布号 RU2032766(C1) 申请公布日期 1995.04.10
申请号 SU19925040282 申请日期 1992.04.28
申请人 SANKT-PETERBURGSKIJ GOSUDARSTVENNYJ ELEKTROTEKHNICHESKIJ UNIVERSITET IM.V.I.ULYANOVA (LENINA) 发明人 BALIKOEV IGOR S;BARCHENKO VLADIMIR T;ZAGRANICHNYJ SERGEJ N;EREMEEV EVGENIJ V
分类号 C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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