发明名称 METHOD OF MAKING SEMICONDUCTING STRUCTURES
摘要
申请公布号 RU1178263(C) 申请公布日期 1995.04.10
申请号 SU19833673088 申请日期 1983.12.14
申请人 SPETSIALNOE KONSTRUKTORSKOE BYURO SREDSTV ANALITICHESKOJ TEKHNIKI S OPYTNYM ZAVODOM 发明人 BILINETS YU.YU.;GOLOVICH I.I.;MATVEEV B.A.;STUS N.M.;TALALAKIN G.N.;FEDAK V.V.
分类号 H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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