| 发明名称 |
FORMATION OF RESIST PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0792694(A) |
申请公布日期 |
1995.04.07 |
| 申请号 |
JP19940009578 |
申请日期 |
1994.01.31 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
FUKUSHIMA TAKASHI;MORI SHIGEYASU;ADACHI KOICHIRO;TAKAGI TOSHIKIMI |
| 分类号 |
G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/38 |
主分类号 |
G03F7/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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