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发明名称 FORMATION OF IDENTIFICATION SYMBOL FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0794616(A) 申请公布日期 1995.04.07
申请号 JP19930234991 申请日期 1993.09.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIBA TETSUO
分类号 H01L21/31;H01L21/02;H01L23/00;(IPC1-7):H01L23/00 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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