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发明名称 ELECTRODE FOR USING IN CHEMICAL ETCHING TREATMENT ASSISTED BY PLASMA
摘要
申请公布号 JPH0794495(A) 申请公布日期 1995.04.07
申请号 JP19940101414 申请日期 1994.05.16
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 JIYOOJI SUTAINBAAGU
分类号 C23F4/00;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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