发明名称 STRUCTURE OF SUPERCONDUCTING INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0794793(A) 申请公布日期 1995.04.07
申请号 JP19930256399 申请日期 1993.09.20
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 NAKAGAWA HIROSHI;AKAHO HIROSHI;TAKADA SUSUMU
分类号 H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/22
代理机构 代理人
主权项
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