发明名称 CONSTRUCTION OF HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTING THIN FILM AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0794791(A) 申请公布日期 1995.04.07
申请号 JP19930256284 申请日期 1993.09.21
申请人 KOKUSAI CHODENDO SANGYO GIJUTSU KENKYU CENTER;NEC CORP;SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMAGUCHI KEIICHI;ENOMOTO YOICHI;MITSUZUKA TSUTOMU;YOSHIKAWA SHUICHI
分类号 C23C14/08;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/22 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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