| 发明名称 |
VACUUM THIN FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0794410(A) |
申请公布日期 |
1995.04.07 |
| 申请号 |
JP19930237590 |
申请日期 |
1993.09.24 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKAMURA HIROSHI;MURAKAMI KATSUHIKO |
| 分类号 |
C23C14/22;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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