发明名称 Capteur électronique destiné à la caractérisation de grandeurs physiques et procédé de réalisation d'un tel capteur.
摘要 <P>Capteur électronique intégré destiné à la caractérisation de grandeurs physiques. <BR/> Ce capteur électronique intégré destiné à la caractérisation de grandeurs physiques comprend un substrat (5) comportant un organe de caractérisation (3) et un capot (9) maintenu à proximité et face à l'organe de caractérisation (3) au moyen d'au moins une cale (11) prenant appui sur le substrat (5) de manière à ménager un premier espacement entre le capot (9) et le substrat, et se caractérise en ce que le capot comporte un bossage (15) en regard de l'organe de caractérisation (3) de manière à définir un second espacement entre le capot (9) et l'organe plus petit que l'espacement entre le capot et le substrat.</P>
申请公布号 FR2710741(A1) 申请公布日期 1995.04.07
申请号 FR19930011672 申请日期 1993.09.30
申请人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE 发明人 CAILLAT PATRICE
分类号 G01L1/18;G01D11/24;G01P15/125;H01L23/02;(IPC1-7):G01D5/12;H01L23/10 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
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