Verfahren zur Herstellung einer Auslegertastspitze zur Anwendung in einem Rasterkraftmikroskop.,申请号DE1991607802-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Auslegertastspitze zur Anwendung in einem Rasterkraftmikroskop.
摘要
申请公布号	DE69107802(D1)	申请公布日期	1995.04.06
申请号	DE1991607802	申请日期	1991.11.26
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP;AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, TOKIO/TOKYO, JP	发明人	TSUDA, NOBUHIRO, TUKUBA-SHI, IBARAKI-KEN 305, JP;YAMADA, HIROFUMI, TUKUBA-SHI, IBARAKI-KEN 305, JP;KADO, HIROYUKI, OSAKA-SHI, OSAKA-FU, JP;TOHDA, TAKAO, IKOMA-SHI, NARA-KEN, JP
分类号	G01B21/30;B44C1/22;B81C1/00;C03C15/00;C23F1/00;G01B7/34;G01Q60/38;G01Q70/14;H01J37/28;H01L21/306;(IPC1-7):G01B7/34	主分类号	G01B21/30
代理机构		代理人
主权项
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