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发明名称 VORRICHTUNG ZUM KONTINUIERLICHEN ABSCHEIDEN EINES DOTIERUNGS MITTELS AUF DER OBERFLAECHE VON HALBLEITERPLAETTCHEN
摘要
申请公布号 DE1943029(B2) 申请公布日期 1972.01.13
申请号 DE19691943029 申请日期 1969.08.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;C23C16/54;H01L21/00;(IPC1-7):B01J17/34 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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