发明名称
摘要
申请公布号 JPH0729223(B2) 申请公布日期 1995.04.05
申请号 JP19910157929 申请日期 1991.06.28
申请人 发明人
分类号 B30B15/06;B30B15/00;B30B15/14;H01L41/083;(IPC1-7):B30B15/14 主分类号 B30B15/06
代理机构 代理人
主权项
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