| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD AND SYSTEM THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0790593(A) |
申请公布日期 |
1995.04.04 |
| 申请号 |
JP19930231253 |
申请日期 |
1993.09.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MAEDA YOSHIHIRA;FURANSOWA RUBURAN;MINEMURA TETSUO |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/52 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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