| 发明名称 |
LOW-TEMPERATURE DRY ETCHING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0790633(A) |
申请公布日期 |
1995.04.04 |
| 申请号 |
JP19930239745 |
申请日期 |
1993.09.27 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
IMOTO KATSUYUKI;HORI AKIHIRO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
