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发明名称 HIGH VACUUM PUMP DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0791370(A) 申请公布日期 1995.04.04
申请号 JP19930261615 申请日期 1993.09.25
申请人 SONY CORP 发明人 SAIGOU HIROSHI
分类号 C23C14/34;F04B37/08;F04B37/16;(IPC1-7):F04B37/16 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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