| 发明名称 |
THIN FILM DEPOSITION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0790585(A) |
申请公布日期 |
1995.04.04 |
| 申请号 |
JP19930237584 |
申请日期 |
1993.09.24 |
| 申请人 |
KAO CORP |
发明人 |
KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU;MIZUNOYA HIROHIDE;SHIGA AKIRA |
| 分类号 |
C23C14/56;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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