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发明名称 MICROWAVE PLAMSA GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0785993(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930227697 申请日期 1993.09.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HASHIMOTO KIYOSHI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J27/16;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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