发明名称 |
LAMINATED ELECTROSTRICTIVE TRANSDUCER LAMINATED CERAMICS ACTUATOR, AND THEIR MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0786654(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
申请号 |
JP19930251034 |
申请日期 |
1993.09.14 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
TANAKA AKIRA;HATTORI TETSUO;FUJIO HISAMITSU;MURAMATSU KENICHI |
分类号 |
H01L21/56;H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/083 |
主分类号 |
H01L21/56 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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