发明名称 LAMINATED ELECTROSTRICTIVE TRANSDUCER LAMINATED CERAMICS ACTUATOR, AND THEIR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0786654(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930251034 申请日期 1993.09.14
申请人 NIKON CORP 发明人 TANAKA AKIRA;HATTORI TETSUO;FUJIO HISAMITSU;MURAMATSU KENICHI
分类号 H01L21/56;H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/083 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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