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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR VACUUM TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH0786241(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930225468 申请日期 1993.09.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 UEDA SHINJIRO
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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