| 发明名称 |
PIEZOELECTRIC THIN FILM ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0786656(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
| 申请号 |
JP19930193003 |
申请日期 |
1993.07.09 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YAMAMOTO KEISUKE;SHIMADA YASUHIRO;SUZUKI YOSHIO;OKAMURA YOSHIMASA;TAKAMATSU OSAMU;YANAGISAWA YOSHIHIRO;NAKAYAMA MASARU |
| 分类号 |
H01L41/18;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 |
主分类号 |
H01L41/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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