发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0786414(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930228860 申请日期 1993.09.14
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 AIZAWA TOMOYA;MATSUBARA NOBUNARI
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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