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发明名称 METHOD OF ETCHING SILICON OXIDE
摘要
申请公布号 JPH0786229(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930175925 申请日期 1993.06.24
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KUNII YASUO;KATO SHINICHI;MAEDA MASAHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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