| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR GROWING HETERO STRUCTURE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0786162(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
| 申请号 |
JP19930227196 |
申请日期 |
1993.09.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KASHIMA HIDEO;BUSSHU TERUO;HOSOMI KAZUHIKO;SATO HIROMI;OUCHI KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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