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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0786401(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930230600 申请日期 1993.09.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANIGUCHI TOSHIO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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