| 发明名称 |
BOAT INSERTING/DRAWING METHOD IN SEMICONDUCTOR FABRICATION SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0786193(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
| 申请号 |
JP19930177292 |
申请日期 |
1993.06.24 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SATO MICHIO;SATO TAKETOSHI;MIYA HIRONOBU |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
