发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH MEMBER AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0786192(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930254986 申请日期 1993.09.16
申请人 NISSHINBO IND INC 发明人 SAITO KAZUO;HIRONAKA TAKASHI;TERADA TAKESHI
分类号 H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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