发明名称 STICKING METHOD FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0786107(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930229190 申请日期 1993.09.14
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>;N T T ELECTRON TECHNOL KK 发明人 IMAI KAZUO;SHIMOKUCHI NOBUYUKI;SAKURAI TETSUTADA
分类号 H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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