| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0786242(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
| 申请号 |
JP19930225547 |
申请日期 |
1993.09.10 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
WATAYA HIROFUMI;TOKI MASAHIKO;OKUDA SHOJI;NAKAHIRA JUNYA;KIKUCHI HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L21/302;C09K13/08;C23C16/44;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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